405 CVD-SiC ミラーの超精密 ELID 研削
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概要
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This paper describes the grinding of CVD-SiC X-ray mirrors with cylindrical surfaces using an ultraprecision micro-form generating machine with ELID system. The grinding wheels used were trued to a R-shape with high profile accuracy by a micro EDM truing device mounted on the machine. Results of grinding experiments indicated that a good form accuracy was achieved successfully.
- 2000-11-20
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