Fabrication of Diffractive Optical Elements on a Si Chip by Imprint Lithography using Novel Mold (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
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概要
著者
-
菊田 久雄
大阪府立大学大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科
-
菊田 久雄
大阪府大
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菊田 久雄
大阪府立大学工学研究科
-
Okano M
Nalux Co. Ltd.
-
HIRAI Yoshihiko
Osaka Prefecture University
-
OKANO Masato
Osaka Science and Technology Center
-
OKUNO Hiroyuki
Osaka Prefecture University
-
TOYOTA Hiroshi
Osaka Science and Technology Center
-
KIKUTA Hisao
Osaka Prefecture University
-
TANAKA Yoshio
Osaka Prefecture University
-
Toyota H
Osaka Science And Technology Center
-
平井 義彦
大阪府立大学 大学院工学研究科 電気・情報系専攻
-
Hirai Yoshihiko
Osaka Prefecture Univ. Osaka Jpn
-
Hirai Y
College Of Engineering Graduate School Of Osaka Prefecture University
-
Tanaka Y
Osaka Prefecture University
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