Fine Pattern Fabrication on a Polymer Plate by Direct Imprint Lithography (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
スポンサーリンク
概要
著者
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科
-
HIRAI Yoshihiko
Osaka Prefecture University
-
TANAKA Yoshio
Osaka Prefecture University
-
Tanaka Yoshiki
Tottori Sanyo Electric. Co. Ltd.
-
平井 義彦
大阪府立大学 大学院工学研究科 電気・情報系専攻
-
Hirai Yoshihiko
Osaka Prefecture Univ. Osaka Jpn
-
Hirai Y
College Of Engineering Graduate School Of Osaka Prefecture University
-
TAKAGI Nobuyuki
Osaka Prefecture University
-
HARADA Satoshi
Osaka Prefecture University
-
Tanaka Yukihisa
Department Of Electrical Electronics And Information Engineering Kanagawa University
関連論文
- 403 ナノインプリント法による3次元多層構造の作製(GS-16 精密計測・精密加工)
- ナノインプリントの基礎と光学応用
- 細胞のマイクロ粘弾性解析
- 静電駆動マイクロカンチレバーのたわみ変位, たわみ速度制御 : 制御器の遅れ特性を考慮した場合
- 走査型プローブ顕微鏡のフォースモジュレーション法による高分子の粘弾性特性評価
- 分子動力学法による欠陥のあるカーボンナノユーブの力学的特性
- ナノ・インプリント法によるガラス表面の微細加工
- 826 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御
- 713 分子動力学法による音叉型単結晶微構造体の振動解析
- 水中に置かれた生体の走査型プローブ顕微鏡を用いた粘弾性評価法
- 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御
- ナノ・インプリント法による微細構造の形成
- 919 水中に置かれた生体の原子間力顕微鏡を用いた粘弾性評価(GS-2 バイオエンジニアリング(2))
- 216 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御(GS-10 制御システム)
- 1118 水中に置かれた生体の原子間力顕微鏡による粘弾性評価法(OS-5 リモデリング・マイクロバイオメカニクス)
- ナノインプリントリソグラフィーによるモルフォブルー量産技術の開発
- 回折光学素子作製のための電子ビーム近接効果補正法の有効性と限界
- Fabrication of Diffractive Optical Elements on a Si Chip by Imprint Lithography using Novel Mold (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
- Automatic Dose Optimization System for Resist Cross-Sectional Profile in a Electron Beam Lithography
- 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
- 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
- リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
- 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
- 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製
- シランカップリング剤のナノインプリントへの応用 (プリント基板、封止材料分野でのシランカップリング剤の選び方、使い方、分析ノウハウ)
- Vision Based Navigation System of Autonomous Mobile Robot : (Planning of Landmark Sensing Considering Environmental Conditions)
- 917 キャスティング法によるPDMSの高アスペクト比毛群構造の作製(GS-16 MEMS(2))
- ナノ・インプリント技術のバイオテクノロジーへの応用 (特集 バイオテクノロジーイノベーション(part1)単細胞解析をめざしたバイオと異分野の融合がもたらすブレークスルー技術の新潮流)
- Novel Mesogenic Polymer Stabilized Ferroelectric Liquid Crystal Display Device Exhibiting V-Shaped Electrooptic Characteristics : Structure and Mechanical and Thermal Properties of Condensed Matter
- Vision Based Navigation System for Autonomous Mobile Robot Locomotive Experiments Based on Variable Template Matching
- Effect of Ion Trapping Films on the Electrooptic Characteristics of Polymer-Stabilized Ferroelectric Liquid Crystal Display Exhibiting V-Shaped Switching
- Novel Mold Fabrication for Nano-Imprint Lithography to Fabricate Single-Electron Tunneling Devices
- Chirality Dependence of Mechanical Properties of Single-Walled Carbon Nanotubes under Axial Tensile Strain
- Molecular Dynamics Studies on Mechanical Properties of Carbon Nano Tubes with Pinhole Defects
- Resonance Characteristics of Micro Cantilever in Liquid
- Estimation of Receiving Waveform of Ultrasonic Aerial Back Sonar Calculated by Finite Difference Time Domain Method (Short Note)
- ナノインプリント
- 次世代プリンティング・パターニング(ナノインプリント法によるマイクロ・ナノパターニング)
- ナノインプリントの発展と今後の展望
- ナノインプリントリソグラフィの基本と応用
- ナノインプリンティング法による微細加工
- ナノインプリンティング法によるナノ構造体の創成(メカニカルリソグラフィ)
- ナノインプリント法によるマイクロ・ナノ構造の成形
- ナノインプリント技術
- ナノ・インプリント法による微細構造形成
- Fine Pattern Fabrication on a Polymer Plate by Direct Imprint Lithography (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
- Nano-Imprint Lithography Using Replicated Mold by Ni Electroforming
- Polymer Science in Nanoimprint Lithography
- 25nm wide silicon trench fabrication by edge lithography (Special issue: Dry process)
- Study on Polymer Materials Evaluation System for Nano-Imprint Lithography
- 熱ナノインプリント (特集:ナノインプリントによる光学デバイス)
- ナノインプリント法の研究動向 (特集1 ナノテクノロジー)
- Simulation of Resist Filling Properties under Condensable Gas Ambient in Ultraviolet Nanoimprint Lithography (Special Issue : Microprocesses and Nanotechnology)
- ナノパターンー括転写を可能にするナノインプリント技術の開発と産業応用