826 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御
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概要
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An electrostatic drive micro cantilever, which has little inertia force and is able to move quickly, is suitable for functional optical devices. However, the cantilever is pulled into the electrode over the specific deflection because the electrostatic force drastically increases and the system falls into unstable state. O avoid the pull in effect and control the deflection and dynamics of the cantilever, we designed a deflection control system based on feedback control technique. It is shown that the pull-in event after relatively short time elapse by using the lumped motion of the cantilever can be avoideded by using the first mode motion
- 社団法人日本機械学会の論文
著者
-
田中 芳雄
大阪府立大学大学院
-
田中 芳雄
大阪府立大学大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科
-
木村 直樹
大阪府立大学大学院研究科
-
山内 啓司
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
金 東浩
大阪府立大学大学院研究科
-
兜 雅章
大阪府立大学大学院研究科
-
田中 芳雄
大阪府立大学 大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大
-
平井 義彦
大阪府立大学 大学院工学研究科 電気・情報系専攻
-
Hirai Y
College Of Engineering Graduate School Of Osaka Prefecture University
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