金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
- 2002-11-27
著者
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府大
-
安田 雅昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学
-
上野 剛人
大阪府立大学大学院、工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大
-
安田 雅昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学分野
-
安田 雅昭
大阪府立大学
-
川田 博昭
大阪府立大学
関連論文
- 403 ナノインプリント法による3次元多層構造の作製(GS-16 精密計測・精密加工)
- 希ガスを用いた容量結合型放電に対する電極材質の影響
- 新型マグネトロンプラズマによるレジストエッチング
- カスプ磁場を有する並行平板型高周波プラズマの特性
- ナノインプリントの基礎と光学応用
- 細胞のマイクロ粘弾性解析
- 静電駆動マイクロカンチレバーのたわみ変位, たわみ速度制御 : 制御器の遅れ特性を考慮した場合
- 走査型プローブ顕微鏡のフォースモジュレーション法による高分子の粘弾性特性評価
- 分子動力学法による欠陥のあるカーボンナノユーブの力学的特性
- ナノ・インプリント法によるガラス表面の微細加工
- 826 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御
- 713 分子動力学法による音叉型単結晶微構造体の振動解析
- 水中に置かれた生体の走査型プローブ顕微鏡を用いた粘弾性評価法
- 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御
- ナノ・インプリント法による微細構造の形成
- 919 水中に置かれた生体の原子間力顕微鏡を用いた粘弾性評価(GS-2 バイオエンジニアリング(2))
- 216 静電駆動マイクロカンチレバーの位置決め・運動制御(GS-10 制御システム)
- 1118 水中に置かれた生体の原子間力顕微鏡による粘弾性評価法(OS-5 リモデリング・マイクロバイオメカニクス)
- スピン偏極二次電子のモンテカルロシミュレーション
- ナノインプリントリソグラフィーによるモルフォブルー量産技術の開発
- 回折光学素子作製のための電子ビーム近接効果補正法の有効性と限界
- Fabrication of Diffractive Optical Elements on a Si Chip by Imprint Lithography using Novel Mold (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
- Automatic Dose Optimization System for Resist Cross-Sectional Profile in a Electron Beam Lithography
- 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
- 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
- リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
- 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
- イメージリバーサルレジストを犠牲層とした付着の少ない表面マイクロマシン作製プロセス
- 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製
- 付着を低減した新しいプロセスによるNiカンチレバーの作製とその機械特性
- 誘導結合型プラズマにおけるアンテナ電流とプラズマパラメータの関係
- GaAs/Al_xGa_As超格子の反射電子像の解析
- 誘導結合型プラズマにおける高周波電流測定の改善とその応用
- 新手法による誘導結合型プラズマのインピーダンス測定
- シランカップリング剤のナノインプリントへの応用 (プリント基板、封止材料分野でのシランカップリング剤の選び方、使い方、分析ノウハウ)
- 917 キャスティング法によるPDMSの高アスペクト比毛群構造の作製(GS-16 MEMS(2))
- スピン偏極走査電子顕微鏡における磁区コントラストの解析
- Mott検出器の高感度化に関する研究
- ナノ・インプリント技術のバイオテクノロジーへの応用 (特集 バイオテクノロジーイノベーション(part1)単細胞解析をめざしたバイオと異分野の融合がもたらすブレークスルー技術の新潮流)
- Chirality Dependence of Mechanical Properties of Single-Walled Carbon Nanotubes under Axial Tensile Strain
- Molecular Dynamics Studies on Mechanical Properties of Carbon Nano Tubes with Pinhole Defects
- Resonance Characteristics of Micro Cantilever in Liquid
- 高分解能光リソグラフィを用いたNi横型フィールドエミッタアレイの試作
- ナノインプリント
- 次世代プリンティング・パターニング(ナノインプリント法によるマイクロ・ナノパターニング)
- ナノインプリントの発展と今後の展望
- ナノインプリントリソグラフィの基本と応用
- ナノインプリンティング法による微細加工
- ナノインプリンティング法によるナノ構造体の創成(メカニカルリソグラフィ)
- ナノインプリント法によるマイクロ・ナノ構造の成形
- ナノインプリント技術
- ナノ・インプリント法による微細構造形成
- Fine Pattern Fabrication on a Polymer Plate by Direct Imprint Lithography (特集 複雑な構造を多様な材料で実現する技術)
- Nano-Imprint Lithography Using Replicated Mold by Ni Electroforming
- 熱ナノインプリントのプロセス物理
- 熱ナノインプリント (特集:ナノインプリントによる光学デバイス)
- ナノインプリント法の研究動向 (特集1 ナノテクノロジー)
- 4.衛星材料内部の電子軌道解析と蓄積電荷分布解析(帯電事故防止のための宇宙環境・衛星帯電数値シミュレーション)
- ナノパターンー括転写を可能にするナノインプリント技術の開発と産業応用