誘導結合型プラズマにおけるアンテナ電流とプラズマパラメータの関係
スポンサーリンク
概要
著者
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
松永 崇
大阪府立産業技術総合研究所
-
松永 崇
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
村田 顕二
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
安田 雅昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学
-
彌永 英倫
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
村田 顕二
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学
-
安田 雅昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学分野
-
安田 雅昭
大阪府立大学
-
川田 博昭
大阪府立大学
関連論文
- 希ガスを用いた容量結合型放電に対する電極材質の影響
- 新型マグネトロンプラズマによるレジストエッチング
- カスプ磁場を有する並行平板型高周波プラズマの特性
- スピン偏極二次電子のモンテカルロシミュレーション
- 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
- 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
- リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
- 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
- イメージリバーサルレジストを犠牲層とした付着の少ない表面マイクロマシン作製プロセス
- 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製
- 付着を低減した新しいプロセスによるNiカンチレバーの作製とその機械特性
- 誘導結合型プラズマにおけるアンテナ電流とプラズマパラメータの関係
- GaAs/Al_xGa_As超格子の反射電子像の解析
- 高周波マグネトロンスパッタリング法によるZr-Al-N薄膜の作製と評価
- 誘導結合型プラズマにおける高周波電流測定の改善とその応用
- 新手法による誘導結合型プラズマのインピーダンス測定
- スピン偏極走査電子顕微鏡における磁区コントラストの解析
- Mott検出器の高感度化に関する研究
- 高分解能光リソグラフィを用いたNi横型フィールドエミッタアレイの試作
- 4.衛星材料内部の電子軌道解析と蓄積電荷分布解析(帯電事故防止のための宇宙環境・衛星帯電数値シミュレーション)