希ガスを用いた容量結合型放電に対する電極材質の影響
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概要
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In order to study the influences from electrode material on the 13.56 MHz capacitive discharges, the measurements are performed in argon at 6 Pa-60 Pa by using a self-compensated Langmuir probe in an asymmetrical planar type reactor. The results indicate that an Al electrode shows higher electron density compared to Fe and Cu electrodes under the same pressure and the same self-bias dc voltage (Vdc). Although the differences of the electron densities due to the changes of the surface materials shrink for low gas pressures, a clear distinction is acknowledged around the threshold voltage, where the discharge mode changes from α type to bi-Maxwellian type at 6.7 Pa.
- 日本真空協会の論文
- 2005-01-20
著者
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
-
田中 誠
広島国際学院大学工学部電子工学科
-
久保 隆
広島国際学院大学工学部電子工学科
-
久保 隆
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
久保 隆
広島国際学院大
-
川田 博昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学分野
-
田中 誠
広島国際学院大学工学部
-
川田 博昭
大阪府立大学
-
田中 誠
広島国際学院大学ハイテクリサーチセンター
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