高分解能光リソグラフィを用いたNi横型フィールドエミッタアレイの試作
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概要
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Niを電極として、三角形状の横型フィールドエミッタの試作を行った。本研究では、高NA油浸レンズを用いた高分解能光リソグラフィ及び三層レジストを用いることにより、素子の微細化をはかった。この結果、二極管構造でエミッタ・アノード間距離が約0.8μm、曲率半径が約0.1μmの素子及びエミッタ・アノード間距離が約0.5μm、曲率半径が約0.15μmの素子が一回の露光で作製できた。前者の素子の電気的特性を測定したところ、アノード電圧が約105Vで電流が急激に立ち上がり、またFNプロットもほぼ直線となり電界放出電流であることが確認された。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-12-15
著者
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川田 博昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
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村田 顕二
大阪府立大学工学部電子物理工学科
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村田 顕二
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学
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川田 博昭
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学分野
-
大山 丈二
大阪府立大学工学部電子物理工学科
-
川田 博昭
大阪府立大学
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