平井 義彦 | 大阪府立大学大学院 工学研究科
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概要
関連著者
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川田 博昭
大阪府立大学大学院 工学研究科
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大阪府立大学大学院工学研究科
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大阪府立大学大学院、工学研究科
著作論文
- 熱インプリント法におけるモールドの側壁ラフネスと離型性の関係
- 移植法によるリソグラフィレスマイクロマシン作製プロセスの開発
- リソグラフィを用いない新規なカンチレバー作製プロセス
- 新しい離型層を用いた付着法によるNiカンチレバーの作製
- 金属パターン移植法による横型カンチレバーの作製