静電駆動マイクロカンチレバーのたわみ変位, たわみ速度制御 : 制御器の遅れ特性を考慮した場合
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概要
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- 2002-10-01
著者
-
田中 芳雄
大阪府立大学大学院
-
田中 芳雄
大阪府立大学大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科
-
木村 直樹
大阪府立大学大学院研究科
-
田中 芳雄
大阪府立大学 大学院工学研究科
-
平井 義彦
大阪府立大学大学院工学研究科電子物理工学分野
-
平井 義彦
大阪府立大
-
平井 義彦
大阪府立大学 大学院工学研究科 電気・情報系専攻
-
Hirai Y
Graduate School Of Engineering Osaka Prefecture University
-
Hirai Y
College Of Engineering Graduate School Of Osaka Prefecture University
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