Simulation of Effective Production of Very High Frequency Hydrogen Plasma Using a Balanced Power Feeding Method (Special Issue : Advanced Plasma Science and Its Applications for Nitrides and Nanomaterials)
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概要
著者
-
Kawai Yoshinobu
Interdiciplinary Gradate School Of Engineering Sciences Kyushu University
-
Chen Weiting
Interdisciplinary Graduate School of Engineering Sciences, Kyushu University, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
-
Uchino Kiichiro
Interdisciplinary Graduate School of Engineering and Sciences, Kyushu University, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
-
Ogiwara Kohei
Graduate School of Information Science and Electrical Engineering, Kyushu University, Kasuga, Fukuoka 816-8580, Japan
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