単結晶AlN/ダイヤモンドヘテロ構造成長
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概要
著者
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嘉数 誠
Ntt物性科学基礎研究所
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谷保 芳孝
日本電信電話株式会社NTT物性科学基礎研究所
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平間 一行
日本電信電話株式会社ntt物性科学基礎研究所
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嘉数 誠
日本電信電話株式会社ntt物性科学基礎研究所
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平間 一行
佐賀大学グリーンエレクトロニクス研究所大学院工学系研究科:日本電信電話株式会社,NTT物性科学基礎研究所
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