化合物半導体マイクロ・ナノメカニクス (特集 新材料とその新機能デバイスへの応用)

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概要

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著者

• 平山 祥郎

  東北大理

• 山口 浩司

  東京大学大学院 情報理工学系研究科

• 山口 浩司

  三菱重工業(株)

• 平山 祥郎

  NTT物性科学基礎研

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