3D06 PLD 法による ZnO 薄膜の作製と評価

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2001-09-26

著者

• 大橋 直樹

  物材機構

• 坂口 勲

  物材機構

• 羽田 肇

  物材機構

• 安達 裕

  物材機構物質研

• 羽田 肇

  無機材質研究所

• 安達 裕

  物質・材料研究機構物質研究所 電子材料ブループ

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