コンビナトリアルイオン注入装置の開発と応用

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概要

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• 2010-09-01

著者

• 坂口 勲

  物材機構

• 坂口 勲

  無機材質研究所

• 坂口 勲

  (独)物質・材料研究機構

• 坂口 勲

  物質・材料研究機構物質研究所電子セラミックスグループ

• 坂口 勲

  (独)物質・材料研究機構 光材料センター光電機能グループ

• 坂口 勲

  科学技術庁無機材質研究所第4研究グループ

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