ホモエピタキシャルダイヤモンド(111)薄膜のシリコン,水素混入の酸素添加による制御

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概要

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著者

• 坂口 勲

  無機材質研究所

• 蒲生(西谷) 美香

  東洋大学工学部応用化学科

• 蒲生西谷 美香

  筑波大学先端学際領域研究(tara)センター勤務

• 坂口 勲

  科学技術庁無機材質研究所第4研究グループ

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