1D23 加熱 TEM 観察による YSZ/SiOx/Si 薄膜における SiOx 層の還元過程の解明

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概要

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• 日本セラミックス協会の論文
• 2001-09-26

著者

• 水谷 惟恭

  東工大大学院理工学研究科

• 木口 賢紀

  東京工業大学総合分析支援センター

• 木口 賢紀

  東工大

• 篠崎 和夫

  東工大

• 脇谷 尚樹

  東工大院工

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