伝送線型薄膜磁界センサによる走査システムの試作
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概要
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We have developed a very sensitive transmission line-type thin film sensor. The sensor, consisting of a coplanar line, SiO2 film, and amorphous CoFeSiB film, was fabricated by sputtering, lift-off, and lithography processes. A phase change of 45 degrees/Oe was obtained at 1 GHz. We arranged two-dimensional stepping motors and developed a scanning system for the sensor. Aluminum samples with through holes were examined by using the eddy current method. Aluminum wires with small Fe balls as impurities were tested by measuring the DC field.
著者
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薮上 信
東北学院大学
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荒井 賢一
電気磁気材料研究所
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中居 倫夫
宮城県産業技術総合センター
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藪上 信
東北学院大学工学部
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小澤 哲也
仙台高等専門学校CO-OP教育センター
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小澤 哲也
仙台高等専門学校
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小林 伸聖
電気磁気材料研究所
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小島 健
東北学院大学工学部
-
佐藤 弘二
東北学院大学工学部
-
小島 健
東北学院大学
-
佐藤 弘二
東北学院大学
-
薮上 信
東北学院大学工学部
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