ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率計測
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概要
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A highly sensitive method of obtaining the permeability of magnetic film without limitations in sample size was developed based on the electrical impedance of magnetic film in contact with microstrip meander lines. The permeability of a CoNbZr thin film (25 × 25 mm, 0.1-μm thick) was evaluated in a frequency range of 100 MHz-8 GHz; the measured values roughly corresponded to those obtained with the Landau-Lifshitz-Gilbert equation. The proposed method shows promise for measuring the permeability of wafer-sized samples because it is not restricted by size limitations.
著者
-
薮上 信
東北学院大学
-
島田 寛
東北大学大学院工学研究科
-
佐藤 彰
東北学院大学
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校CO-OP教育センター
-
高橋 純也
仙台高等専門学校
-
宮澤 安範
東栄科学産業
-
柳 邦雄
東栄科学産業
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校
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