ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の計測
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
A highly sensitive and broadband method of obtaining the permeability of magnetic film without limitations in sample size was developed based on the high frequency impedance of microstrip meander probe and magnetic film. The probe (5.6 mm × 5 mm, 2 turns) was scanned in the vicinity of a CoNbZr thin film (50 × 50 mm, 0.1 μm thick), and the permeability was optimized by Newton-Raphson method in a frequency range of 10 MHz - 8 GHz. The measured values roughly corresponded to theoretical values based on the Landau-Lifshitz-Gilbert equation and eddy current generation. The proposed method shows promise for measuring the permeability of wafer-sized samples in-line because it is not restricted by size limitations.
著者
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
薮上 信
東北学院大学
-
島田 寛
東北大学大学院工学研究科
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校CO-OP教育センター
-
高橋 純也
仙台高等専門学校
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校
-
宮澤 安範
(株) 東栄科学産業
-
柳 邦雄
(株) 東栄科学産業
関連論文
- 広帯域光源と全ファイバ型干渉計を用いた非接触・高感度・高精度三次元光計測
- ナノスケール強磁性体とは
- 第11回大会報告
- 複合構造を持つ軟磁性微粒子の初透磁率(薄膜・微粒子・多層膜・人工格子)
- 微粒子の透磁率と複合化の効果
- サブミクロン微粒子の合成と高周波材料への応用
- 複合微粒子集合体の初透磁率(Selected Papers from the Fourth International Workshop on High Frequency Micromagnetic Devices and Materials(MMDM4))
- 高速パルス磁場発生装置の試作
- Fe系微粒子材料の高透磁率化
- L1_0-FePtナノ粒子の磁化反転過程
- 位相差計測による高周波キャリア型薄膜センサの評価(計測・高周波デバイス)
- 超高密度記録材料としてのL1_0-FePt
- Ni-Zn-Coフェライトめっき薄膜のFMR解析
- Co-W系スパッタ薄膜の2相分離と磁性
- サブμmアモルファス微粒子の合成と軟磁性
- CPW-FMR測定による磁性薄膜のダンピング定数に関する研究
- 長時間鍛造した偏平状センダスト粉末・ポリマー複合体のマイクロ波帯透磁率
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサによる心磁界計測の試み
- ワイヤレス磁気マーカの位置検出システムにおける位置精度向上の検討
- マイクロEMC対策用Ni-Fe微粒子軟磁性膜の作製 : ソフト磁性材料
- FePtナノ微粒子の規則化とサイズ効果
- L1_0-FePt薄膜のc軸方位の熱処理条件依存性(薄膜)
- L1_0-FePt薄膜のc軸配向に関する検討
- L1_0-FePt微粒子薄膜の形成
- Fe/Ptエピタキシャル膜の結晶配向と規則化過程
- Bi下地によるFePt規則相の低温合成 : 合金薄膜
- 位置検出システムのコイル配置と検出精度に関する検討
- ワイヤレス磁気マーカによる顎運動計測システムの試作
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサによる心磁界測定
- CoNbZr薄膜を用いた平面型磁界センサによる心磁界計測
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサを用いた心磁界測定
- サブミクロンサイズFe-Co粒子の高周波特性
- 高透磁率複合微粒子を用いたスパイラルインダクタの試作
- 薄膜円盤モデルにおける渦電流損失解析とその電磁ノイズ抑制体への適用方法に関する考察
- C-2-67 負の透磁率を用いた表皮効果抑制の実験的検証(C-2. マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- C-2-66 導体/磁性体多層膜によるマイクロ波帯における表皮効果抑制(C-2. マイクロ波B(マイクロ波・ミリ波受動デバイス),一般セッション)
- 高透磁率複合微粒子を用いたインダクタの試作(2)
- チップサービスを用いた伝送線路の特性と集積化磁性流体の伝送特性に与える影響
- 負の透磁率による高周波導体抵抗の低減に関する研究
- 薄膜ノイズ抑制体を模擬した円盤モデルにおける渦電流損失の周波数特性(回路/デバイス/一般-若手研究者発表会)
- 高透磁率複合微粒子を用いたインダクタの試作(1)
- 3項 室温で動作し10^T台の磁界検出分解能を有する薄膜磁界センサ 電源線伝導妨害波とその抑圧について(4節 通研講演会,第5章 国際会議・シンポジウム等)
- ミアンダ線路による磁性薄膜の透磁率評価の試み
- L1_0-FePt単結晶ドットの極低温における磁化反転
- Fe-Al-Oグラニュラー膜のスピン波ブリルアン散乱
- 粒子線加速器用高応答強磁場キッカー電磁石の開発
- 伝送線型薄膜磁界センサによる走査システムの試作
- ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率計測
- 細長ワイヤレス磁気マーカを用いた生体用チューブの位置検出
- 細長ワイヤレス磁気マーカによる生体用チューブの位置検出の検討
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサを用いた心磁界測定
- LC共振型磁気マーカを用いた高精度位置検出システム(計測・高周波デバイス)
- LC共振型磁気マーカを用いた位置検出システム
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの位相差検出による交流磁界測定装置の開発
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの位相差検出による交流磁界測定装置の開発
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計
- 位相差計測による高周波キャリア型薄膜センサの評価
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの厚膜化
- 10^T台の磁界検出分解能を有する高周波伝送線路型薄膜磁界センサ
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化の検討
- 熱処理温度制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化(計測・高周波デバイス)
- 熱処理条件及び断面形状制御による高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
- 高周波キャリアを用いた位相検出型薄膜磁界センサの開発
- 高周波キャリアを用いた位相検出型薄膜磁界センサの開発
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計(計測・高周波デバイス)
- 振幅変調による高周波キャリア型薄膜磁界センサの設計
- 差動検出コイルを用いたLC共振型ワイヤレス磁気マーカの位置・方向検出システム(計測・高周波デバイス)
- LC共振回路によるワイヤレス磁気マーカの位置検出
- 多点ワイヤレス磁気マーカによる指先のモーションキャプチャシステム
- LC共振型磁気マーカを用いた位置・方向検出システムの位置精度検証
- 高周波キャリア型センサによる低周波磁界計測
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサを応用した位相差検出型磁界センサの開発
- 高周波キャリア型薄膜磁界センサの高感度化
- 高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
- ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の計測
- ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の評価
- 伝送線路型薄膜磁界センサの試作
- 高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
- 直接通電による磁性膜透磁率測定の試み
- Intermag2000会議報告
- ミアンダ形プローブを用いた10.6GHzまでの薄膜透磁率計測
- 磁性リボンを用いた位置検出システムの開発
- マイクロストリップ型プローブによる薄膜透磁率計測の広帯域化
- コプレーナ線路を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
- 医療技術における磁気応用研究の動向(5) : 生体内へのエネルギー・信号伝達の磁気応用技術
- 医療技術における磁気応用研究の動向(3) : 生体計測用センサにおける磁気応用技術
- ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の計測
- 磁性リボンを用いた位置検出システム
- マイクロストリップ型プローブによる薄膜透磁率計測の広帯域化
- マイクロストリッププローブによる表皮効果を利用した薄膜透磁率計測
- Development of Magnetic Crack Detection System Using Thin Film Magnetic Field Sensor
- GIGS磁界センサを用いた渦電流探傷
- 高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
- コプレーナ線路を用いた高感度薄膜磁界センサの開発
- 伝送線路型薄膜センサによる心磁界の多点計測
- 伝送線路型薄膜磁界センサによる心磁界の多点計測
- 伝送線路型薄膜磁界センサによる心磁界の多点計測
- 表皮効果を利用した磁性薄膜透磁率測定プローブの検討
- 誘電体薄膜を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
- 伝送線路型薄膜磁界センサによるシールドルーム外での心磁界計測