高誘電率基板を用いた伝送線路型薄膜磁界センサの高感度化
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概要
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We have developed a transmission-line thin-film sensor by using a ceramic substrate with high permittivity (εr=115) and amorphous CoNbZr film. We fabricated a coplanar line type sensor with CoNbZr film (25 x 25 mm and 8 μm in thickness). A phase change of 150 degrees/Oe was achieved, which was more than a 10-fold improvement compared with that for a previously reported sensor using a Teflon substrate (εr=5). The signal-to-noise ratio improved and was about 3 times higher than that for the previous sensor when a small AC field (270 pT, 11 Hz) was applied.
著者
-
薮上 信
東北学院大学
-
荒井 賢一
電気磁気材料研究所
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校CO-OP教育センター
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校
-
小林 伸聖
電気磁気材料研究所
-
小島 健
東北学院大学工学部
-
佐藤 弘二
東北学院大学工学部
-
小島 健
東北学院大学
-
佐藤 弘二
東北学院大学
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