マイクロストリップ型プローブによる薄膜透磁率計測の広帯域化
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概要
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A highly sensitive method of obtaining the permeability of a magnetic film without limitations in sample size was developed based on the skin effect of magnetic film in the vicinity of a microstrip line probe. The permeability of a (Co25Fe75)90B10 thin film (45 x 25 mm, and 0.53 μm thick) was optimized in a frequency range from 10 MHz - 17 GHz; the measured values roughly corresponded to those obtained with the Landau-Lifshitz-Gilbert equation. We analyzed the upper frequency limitations of the permeability measurements using a meander probe, then the impedance mismatching may limit the upper frequency.
著者
-
薮上 信
東北学院大学
-
島田 寛
東北大学大学院工学研究科
-
塩川 孝泰
東北学院大
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佐藤 彰
東北学院大学
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
宮澤 安範
東栄科学産業
-
柳 邦雄
東栄科学産業
-
小澤 哲也
東北学院大学
-
宗像 誠
崇城大学情報学部
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