ミアンダ形プローブによる磁性薄膜の透磁率分布の計測
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概要
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A highly sensitive and broadband method of obtaining the permeability of magnetic film without limitations in sample size was developed based on the high frequency impedance of microstrip meander probe and magnetic film. The probe (5.6 mm × 5 mm, 2 turns) was scanned in the vicinity of a CoNbZr thin film (50 × 50 mm, 0.1 μm thick), and the permeability was optimized by Newton-Raphson method in a frequency range of 10 MHz - 8 GHz. The measured values roughly corresponded to theoretical values based on the Landau-Lifshitz-Gilbert equation and eddy current generation. The proposed method shows promise for measuring the permeability of wafer-sized samples in-line because it is not restricted by size limitations.
- 2011-07-01
著者
-
小澤 哲也
宮城工業高等専門学校
-
小澤 哲也
東北大
-
薮上 信
東北学院大学
-
島田 寛
東北大学大学院工学研究科
-
島田 寛
東北大科研
-
藪上 信
東北学院大学工学部
-
高橋 純也
仙台高等専門学校
-
宮澤 安範
東栄科学産業
-
小澤 哲也
仙台高等専門学校
-
柳 邦雄
(株)東栄科学産業
-
宮澤 安範
(株)東栄科学産業
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