磁気ヘッド用RWワイヤの高周波特性評価

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概要

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HDD用記録ヘッドとRWIC(Read-Write IC)を繋ぐRWワイヤの高周波インピーダンスと伝送特性を検討した。まずRWワイヤとウェハプローブとの機械的接触状況の再現性について検討し,プローブヘッドの形状が平型で,ヘッド固定圧力が比較的高い場合に再現性が高いことを見出した。Sパラメータ測定を行い,π型等価回路を仮定して等価回路解析を行った。直列インダクタンスおよび抵抗,ならびに並列抵抗およびキャパシタンスを導出し,0.1〜20GHzの周波数範囲で周波数特性として表示する事が出来た。これから見積もれた配線1本あたりのインダクタンスは15nH程度,抵抗は2.5Ω程度であった。配線ー基板間容量については,2〜3pFと見積もられた。配線間のクロストークモデルについても検討した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2002-09-26

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