I121 水蒸気と水の混合噴流を用いたウェハ表面レジスト除去(一般講演(4))
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概要
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As part of the effort to elucidate the potential of steam-water mixed spray, a high-speed multi-phase thermal fluid, we conducted a series of experiments with resist-coated silicon wafers as the target of the spray. We measured the amount of the resist removed by the spray, and found that it depends on several parameters such as the thickness and mechanical strength of the resist. The results suggest that the resist removal by the spray is essentially a physical process, and the impact of the spray can be controlled, implying the application potentiality of the spray.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2011-10-28
著者
-
西山 逸雄
ダイプラ・ウィンテス
-
益子 岳史
静岡大学 工学部 機械工学科
-
堀邊 英夫
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
-
真田 俊之
九大
-
橋本 健太郎
静岡大学大学院工学研究科機械工学専攻
-
堀邊 英夫
金沢工大
-
橋本 健太郎
静岡大
-
堀邊 英夫
金沢工大・ものづくり研究所
-
真田 俊之
静岡大
-
益子 岳史
静岡大
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