ポリイミドをターゲットとして作製した高周波スパッタ高分子薄膜 : 成膜時の電力と圧力が分子構造と基板との密着性に与える影響
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概要
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- 2008-11-07
著者
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上村 彰宏
金沢大学大学院 自然科学研究科
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岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
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西山 逸雄
ダイプラ・ウィンテス
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岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
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岩森 暁
金沢大学大学院自然科学研究科
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上村 彰宏
金沢大学大学院 自然科学研究科
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西山 逸雄
ダイプラ・ウィンテス株式会社
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