活性酸素検出用銀薄膜の表面酸化挙動の評価
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概要
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In this study, the mechanism of oxidation on silver-coated quartz crystal was investigated from the standpoint of future application to active oxygen monitoring under ultraviolet lamp processing. The effect of excited atomic oxygen (O (1D)) on the silver surface was monitored in real time utilizing the quartz crystal microbalance (QCM) method. To clarify the surface oxidation behavior on silver thin film, scanning transmission electron microscopy (STEM) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analyses were also performed. The results showed that the oxidation layer had a Ag2O structure and that the oxidation process progressed in three steps while the lamp was on.
- 2010-03-20
著者
-
岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
松本 裕之
岩崎電気株式会社
-
柴田 好久
岩崎電気株式会社
-
鈴木 史生
岩崎電気株式会社
-
吉野 潔
岩崎電気株式会社
-
松岡 幹彦
岩崎電気株式会社
-
岩崎 達行
岩崎電気株式会社
-
木下 忍
岩崎電気株式会社
-
野田 和俊
独立行政法人産業技術総合研究所
-
岩森 暁
東海大学
-
松本 裕之
岩崎電気株式会社技術研究所
-
岩崎 達行
岩崎電気株式会社技術研究所
-
野田 和俊
産業技術総合研究所環境管理技術研究部門
-
木下 忍
岩崎電気株式会社技術研究所
-
岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
吉野 潔
岩崎電気株式会社技術研究所
-
岩森 暁
金沢大学大学院自然科学研究科
-
野田 和俊
産業技術総合研究所
-
岩森 暁
東海大学工学部機械工学科
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