ポリイミドをターゲットとして作製したスパッタ膜のガス吸着特性
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概要
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- 日本材料科学会の論文
- 2008-08-20
著者
-
上村 彰宏
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
野田 和俊
産業技術総合研究所 環境管理技術研究部門
-
岩森 暁
東海大学
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野田 和俊
産業技術総合研究所環境管理技術研究部門
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岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
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岩森 暁
金沢大学大学院自然科学研究科
-
矢野 智士
金沢大学大学院 自然科学研究科
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野田 和俊
産業技術総合研究所
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上村 彰宏
金沢大学大学院 自然科学研究科
-
岩森 暁
東海大学工学部機械工学科
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