ターゲットにポリイミドを用いて作製したスパッタ高分子薄膜の摩擦・摩耗特性と銅基板との密着性(窒素ガスの効果)
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概要
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- 2006-03-01
著者
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岩森 暁
金沢大学大学院 自然科学研究科
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岩森 暁
金沢大学 自然科学研究科(理工学域 機械工学類)
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岩森 暁
金沢大学大学院自然科学研究科
-
上村 彰宏
金沢大学大学院 自然科学研究科
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上村 彰宏
金沢大学 自然科学研究科 人間・機械科学専攻
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