プラズマ支援真空蒸着法で成膜したポリイミド系薄膜の表面特性
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概要
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- 2010-07-29
著者
-
岩森 暁
東海大学
-
松本 裕之
岩崎電気株式会社技術研究所
-
野田 和俊
産業技術総合研究所環境管理技術研究部門
-
杉本 亮祐
金沢大学大学院自然科学研究科
-
長田 幸輔
金沢大学工学部
-
野田 和俊
産業技術総合研究所
-
野田 和俊
産総研
-
松本 裕之
岩崎電気
-
長田 幸輔
金沢大学大学院自然科学研究科人間・機械科学専攻
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