スピンコートおよび高周波スパッタリング法で成膜した有機薄膜を応用したQCMによる活性酸素モニタリング(センサ,デバイス,一般)
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概要
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ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)スピンコート膜およびPTFEをターゲット材として高周波スパッタリング法で水晶基板上に成膜したフッ素系有機薄膜をQCMセンサとして用い,低圧水銀ランプ下で生成する活性酸素をモニターし,各センサ検出感度の評価を行った.その結果,両者間で質量減少挙動,すなわち,活性酸素およびUV光曝露による有機薄膜のエッチング特性に大きな差異があることがわかった.各有機薄膜について,FT-IRによる分子構造の解析を行い,フッ素系有機薄膜のエッチング挙動の差異理由について検討を行った.
- 2011-01-31
著者
-
松本 裕之
岩崎電気株式会社
-
吉野 潔
岩崎電気株式会社
-
岩崎 達行
岩崎電気株式会社
-
木下 忍
岩崎電気株式会社
-
岩森 暁
東海大学
-
松本 裕之
岩崎電気株式会社技術研究所
-
岩崎 達行
岩崎電気株式会社技術研究所
-
野田 和俊
産業技術総合研究所環境管理技術研究部門
-
木下 忍
岩崎電気株式会社技術研究所
-
吉野 潔
岩崎電気株式会社技術研究所
-
野田 和俊
産業技術総合研究所
-
岩森 暁
東海大学工学部機械工学科
-
荒井 航
東海大学工学部機械工学科
-
岩森 暁
東海大学工学部
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