高濃度オゾンガスによるレジストアッシング--環境に優しいオゾンを用いた感光性樹脂の除去
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概要
著者
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堀邊 英夫
金沢工業大学ものづくり研究所
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三浦 敏徳
(株)明電舎基盤技術研究所
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花倉 満
(株)明電舎基盤技術研究所
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堀邊 英夫
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
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堀邊 英夫
金沢工大・ものづくり研究所
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