レーザーによるレジストの剥離性と基板との密着性
スポンサーリンク
概要
著者
-
藤田 雅之
レーザー技術総合研究所
-
堀邊 英夫
金沢工業大学ものづくり研究所
-
Fujita Masayuki
Yokohama National University Department Of Electrical And Computer Engineering
-
堀邊 英夫
金沢工大・ものづくり研究所
関連論文
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
- 数サイクルマルチテラワット光パラメトリック増幅システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- カーボンナノチューブからの電子加速による含ハロゲン化合物の分解処理評価
- カーボンナノチューブ電子群加速を利用したクロロフェノール類の分解処理評価
- 短パルスレーザーを用いた環境負荷低減技術開発
- PLD法による多結晶ハイドロキシアパタイト被膜の室温成長
- 2.4 超広帯域コヒーレント光の応用(2. レーザー技術フロンティア,最新レーザーとプラズマ研究)
- 340 短パルスレーザ照射による酸化チタン皮膜の材料特性変化(レーザ(V),平成20年度秋季全国大会)
- フェムト秒レーザーによる酸化チタン膜の電気抵抗制御
- 励起光の発散角を利用した超広帯域光パラメトリックチャープパルス増幅法
- 高強度・数サイクル光パラメトリック増幅システム
- 308 レーザ照射による酸化チタン皮膜の表面形態変化(固相接合・表面改質,平成20年度春季全国大会)
- 445 フェムト秒レーザを用いた酸化チタン皮膜の表面改質(レーザ加工(I),平成19年度秋季全国大会)
- サファイア伝導冷却高出力低温Yb:YAGレーザー
- 新しい炉用レーザの開発
- 低温冷却Yb:YAGを用いた10kW級レーザー増幅器の設計
- 高エネルギー密度状態生成のためのLD励起Yb系固体レーザーの開発
- 高出力低温冷却レーザの開発
- 低温動作Yb:YAGレーザーに関する研究
- フェムト秒レーザーと単結晶Siの超高速相互作用
- 石英バルク材料のレーザー内部損傷しきい値
- 28p-XH-3 マイクロウィグラーを用いたSASE FELの実験
- C-6-1 ナノ周期構造を下地にもつ金薄膜の光学誘電率測定(C-6.電子部品・材料,一般講演)
- C-6-12 ナノ周期構造をもった金属表面のATR測定(C-6.電子部品・材料,一般講演)
- エアロゾルビーム照射により形成されたTiO_2膜の短パルスレーザを用いた電気抵抗制御
- フェムト秒レーザーによる金属材料上への微細構造形成
- フェムト秒レーザー加工を利用した高速混合装置の開発 : 蛋白質の折り畳み研究への応用
- 2P089 シトクロムcの折り畳み初期収縮過程における蛍光および共鳴ラマン散乱の時分割測定(蛋白質 C) 物性(安定性、折れたたみなど)))
- 3P019 フェムト秒レーザー加工を利用した高速混合装置の改良とシトクロムcの折り畳み初期収縮の解明(蛋白質 C) 物性 : 安定性、折れたたみなど)
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- フェムト秒レーザーを用いた半導体微細加工
- コンパクト自由電子レーザー装置の開発研究
- 紫外レーザー照射に対する石英材料内部損傷しきい値の温度依存性
- 超短パルスレーザー照射によって発生するSiの超高速融解過程の観察
- フェムト秒レーザーパルスによるシリコンの超高速相転移 (特集 期待されるフェムト秒レーザー研究)
- フェムト秒レーザー加工の現状と将来動向
- 半導体のフェムト秒レーザ加工特性--アブレーションとアモルファス化
- フェムト秒レーザーによる半導体の超高速相転移 (特集・超短パルスレーザープロセッシング)
- 白色光偏光解消ライダーシステムの開発
- 環境計測のための白色光ライダの開発 (特集 21世紀を拓くレーザ応用)
- 高出力数サイクルレーザーの開発
- レーザー加工の物理 3 : 光パルス幅と加工
- 先進的高出力レーザーとその応用に関する国際フォーラム
- フェムト秒レーザーアブレーションによる新加工領域の特徴とナノ構造形成
- 323 真空下におけるチタン基板へのフェムト秒レーザアブレーション(レーザ溶接)
- Al_2O_3セラミックスのフェムト秒レーザアブレーション
- フェムト秒レーザーを用いたTi基板の穴開け加工
- フェムト秒レーザーアブレーションによる新加工領域の特徴とナノ構造形成
- 1周期4極型ハイブリットヘリカルマイクロウィグラーの開発
- 14a-N-2 コンパクトRFライナックによる自由電子レーザーの研究 (II) : 加速器動特性のシミュレーション
- 31p-ZD-13 コンパクトRFライナックによる自由電子レーザーの研究(III)(プラズマ物理・核融合(自由電子レーザー))
- 31p-ZD-11 コンパクトRFライナックによる自由電子レーザーの研究(I) : 総括(プラズマ物理・核融合(自由電子レーザー))
- 光蓄積装置としてのスーパーキャビティの研究
- コンプトン散乱による高平均出力γ線源の開発
- 材料加工用サブピコ秒Yb:YAGレーザーの開発
- 多層ウェハレベル接合体の低ストレスダイシング技術
- コヒーレント白色光を用いた偏光ライダー : 3波長同時偏光解消度観測とウェーブレット縮退によるノイズ除去
- 25aB-1 コンパクトFEMの開発研究
- 28p-XH-1 ソレノイド誘導型ヘリカルウイグラーの研究
- GaInAsP Microdisk Injection Laser with Benzocyclobutene Polymer Cladding and Its Athermal Effect
- GaInAsP Microcylinder (Microdisk) Injection Laser With AlInAs (O_x) Claddings : Optics and quantum Electronics
- フェムト秒レーザーによる物質プロセッシング
- 28p-XH-2 一周期4極型ハイブリッドヘリカルマイクロウィグラーの開発
- FELのためのタングステン電界放出電子ビーム源
- フェムト秒レーザ装置の現状
- 光パラメトリックCPA用広帯域光源の開発
- New Potential of a Direct Laser-Diode-Pumped Yb:YAG Laser
- Three-Wavelength Backscatter Measurement of Clouds and Aerosols Using a White Light Lidar System : Instrumentation, Measurement, and Fabrication Technology
- 最近の光技術(第7回)レーザ技術 フェムト秒レーザ技術の動向
- 適光適所
- レーザーによる表面汚染物の除去
- 白色光ライダーの開発 (「ライダーによる環境計画」解説小特集号)
- Laser Original 超短パルスレーザーによる炭素繊維強化プラスチックの切断加工 (「次世代レーザー加工」特集号)
- レーザーによるレジスト剥離
- Ti基金属ガラス生体活性向上のためのフェムト秒レーザーによる表面形態変化
- フェムト秒レーザー加工
- レーザーによるレジストの剥離性と基板との密着性
- レｰザｰレジスト剥離装置
- レーザー
- フェムト秒レーザーの応用
- フェムト秒レーザを用いたTi基板の穴開け加工
- フェムト秒レーザとは
- 短パルスレーザによるTiO_2皮膜の電気抵抗制御
- フェムト秒レーザ照射によるチタン基板への周期構造形成
- チタン基板のフェムト秒レーザアブレーション加工
- 周期構造形成しきい値近傍領域における短パルスレーザー照射による金属材料の表面形状変化
- 超短パルスレーザーによる炭素繊維強化プラスチックの切断加工
- 白色光ライダーの開発
- フェムト秒パルスレーザによる材料除去加工
- 01pA13P レーザー誘起サブピコ秒X線パルス光源の開発(計測II、新概念)
- Z-Scan 法を用いた石英ガラスの非線形屈折率測定
- レーザー核融合の産業波及効果 (特集 新たな段階に突入したレーザー核融合研究)
- フェムト秒レーザ照射による酸化チタン膜の光触媒機能変化
- 石の上にも25年
- フェムト秒レーザーを用いたAl-Si合金への微細周期構造形成による摩擦低減効果