フェムト秒レーザを用いたTi基板の穴開け加工
スポンサーリンク
概要
著者
-
藤田 雅之
レーザー技術総合研究所
-
塚本 雅裕
大阪大学接合科学研究所
-
Fujita Masayuki
Yokohama National University Department Of Electrical And Computer Engineering
関連論文
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術
- 数サイクルマルチテラワット光パラメトリック増幅システム(量子光学,非線形光学,超高速現象,レーザ基礎,及び一般)
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- CLEO/IQEC '98報告
- 積層MEMSのためのパルスレーザー支援デブリフリー低ストレスダイシング技術の開発
- カーボンナノチューブからの電子加速による含ハロゲン化合物の分解処理評価
- カーボンナノチューブ電子群加速を利用したクロロフェノール類の分解処理評価
- 短パルスレーザーを用いた環境負荷低減技術開発