Al_2O_3セラミックスのフェムト秒レーザアブレーション
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概要
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Laser-ablation experiments were performed on Al2O3 ceramics with Gaussian laser beam (800 nm wavelength, 100 fs pulse duration, 1.4 - 21 J/cm2 fluence range) focused to 33 mm spot diameter (at 1/e intensity level). The ablation threshold was determined by two different methods. The first one was applied to the ablation rate dependence on the laser fluence. The second method was applied to the crater surface diameter dependence on the laser fluence. These two dependences have been well expressed by the formulas applied to metals. The ablation threshold for Al2O3 ceramics was found to be 1.43±0.7 J/cm2. A micro-hole drilling of ceramics (150 mm-thickness) was demonstrated with laser fluence of 20 J/cm2. Aspect ratio (crater depth/diameter) of 3 has been achieved.
- 社団法人 電気学会の論文
- 2004-02-01
著者
-
甲藤 正人
宮崎大学産学連携センター
-
藤田 雅之
レーザー技術総合研究所
-
藤田 雅之
(財)レーザー技術総合研究所
-
井澤 靖和
大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
-
甲藤 正人
近畿大学
-
塚本 雅裕
大阪大学接合科学研究所
-
甲藤 正人
宮崎大学 産学連携センター
-
橋田 昌樹
京大化研:京大院理
-
甲藤 正人
近畿大学理工学部
-
長嶋 謙吾
近畿大学理工学部
-
橋田 昌樹
(財)レーザー技術総合研究所
-
Fujita Masayuki
Yokohama National University Department Of Electrical And Computer Engineering
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