三浦 敏徳 | (株)明電舎基盤技術研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)明電舎基盤技術研究所の論文著者

関連著者

• 三浦 敏徳

  (株)明電舎基盤技術研究所

• 花倉 満

  (株)明電舎基盤技術研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科

• 堀邊 英夫

  金沢工大・ものづくり研究所

• 山本 雅史

  金沢工業大学ものづくり研究所

• 堀邊 英夫

  金沢工業大学

著作論文

• 超高濃度オゾンガスによるノボラックレジストのアッシング(半導体材料・デバイス)
• 高純度オゾンを用いたアッシング技術 (新技術特集) -- (基盤技術)
• 高濃度オゾンガスによるレジストアッシング--環境に優しいオゾンを用いた感光性樹脂の除去

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