花倉 満 | (株)明電舎基盤技術研究所
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概要
関連著者
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花倉 満
(株)明電舎基盤技術研究所
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三浦 敏徳
(株)明電舎基盤技術研究所
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堀邊 英夫
金沢工業大学ものづくり研究所
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堀邊 英夫
金沢工業大学 バイオ・化学部 応用化学科
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金沢工大・ものづくり研究所
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産業技術総合研究所計測フロンティア研究部門
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金沢工業大学ものづくり研究所
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明電舎 総研
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堀邊 英夫
金沢工業大学
著作論文
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- 有機シリコンガスと高濃度オゾンガスの交互供給による300℃以下でのSiO_2絶縁膜作成
- 高純度オゾンを用いたアッシング技術 (新技術特集) -- (基盤技術)
- 高濃度オゾンガスによるレジストアッシング--環境に優しいオゾンを用いた感光性樹脂の除去