1-1 国際半導体技術ロードマップから見たCMOS技術動向(1.CMOS技術の最前線,<特集>世界的な競争領域にある最先端デバイス技術)
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概要
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ITRS(国際半導体技術ロードマップ)は,世界5極(欧州,日本,韓国,台湾,米国)の半導体工業会(ESIA,JEITA,KSIA,TSIA,SIA)がスポンサーとなって,将来15年にわたる半導体技術動向とそれを実現するための技術課題をそれぞれの分野の専門家がまとめたものである.ITRSの2011年版(最新版)から見たCMOS技術のトレンドを紹介する.素子寸法の微細化を続けるためにリソグラフィーをはじめとするプロセス技術の進展が必要である.また,微細化だけでなく,多様化(More than Moore)も進む,シリコンCMOS技術を超えて新しい原理の素子の提案と研究開発が活発に行われている.
- 2012-11-01
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