Deterministicドープシリコンデバイスと量子輸送現象(機能ナノデバイス及び関連技術)
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概要
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単一イオン注入法によって、ドーパントが"deterministic(決定論的)"に注入されたシリコンデバイスを試作し、量子輸送特性を調査した。リンドナーを2個、6個、10個をチャネルに沿って1次元に配列させたところ、個数の増加に伴い2つの特徴的な輸送特性を観測した。1つは1個のドナーが有する2つの準位D^0とD^-を介する単一電子トンネリングに起因する特性、もう1つはドナー間カップリングによるHubbardバンドの形成に起因する特性である。ドーパント添加型デバイスの極限形として、1個のドーパントが制御されたデバイス開発に"deterministic"単一イオン注入法は効果的手段となることを実証した。
- 2012-01-31
著者
-
小野 行徳
NTT物性科学基礎研究所
-
品田 賢宏
早稲田大学工学部
-
谷井 孝至
早大・理工・電生
-
堀 匡寛
早稲田大学
-
谷井 孝至
早稲田大学
-
品田 賢宏
早稲田大学
-
小野 行徳
Ntt
-
GUAGLIARDO Filipo
ミラノ工科大学
-
熊谷 国憲
早稲田大学理工学研究科
-
PRATI Enrico
イタリア学術研究会議
-
堀 匡寛
早稲田大学理工学研究科
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