2209 真空環境に対応した高精密パラレルメカニズムの開発(機構の開発とシミュレーション(機械設計と機構),一般講演)
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概要
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According to development demand of 6 axis precision stage corresponding to vacuum chamber, a parallel mechanism stage has been developed. This parallel mechanism stage has vacuum adaptability as low degasification and low generation of heat. Moreover, Double Ball Joint was used for precise positioning. This paper reports on the design of parallel mechanism stage corresponding to the use in the vacuum chamber.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2010-04-18
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