導波路型超音波洗浄機の音圧分布解析
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概要
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筆者らは側面から音波を照射可能で基板ダメージの低減可能性のある導波路管型超音波洗浄機を提案している。導波路管型超音波洗浄機では,従来の照射型洗浄機と同じく,先端からの音波の他に,導波路管側面から放射される音波も半導体基板洗浄に適用可能である。本稿では,洗浄機の特性解析を目的として導波路内と導波路管側面からの放射について有限要素法を用いて検討を行った。その結果,側面から放射される音圧は,側面から2mm離れた点で,導波路管中心部の音圧と比較して,1/20〜1/30になることを確認した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-09-22
著者
-
潘 毅
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
岡野 勝一
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
副島 潤一郎
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
小池 義和
芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部:芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
芝浦工業大学工学部
-
鈴木 健太
芝浦工業大学工学部
-
町田 竜太
芝浦工業大学工学部
-
潘 毅
芝浦工業大学工学部
-
岡野 勝一
芝浦工業大学工学部
-
副島 潤一郎
芝浦工業大学工学部
-
小池 義和
芝浦工大
-
小池 義和
芝浦工業大学
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