導波路管型超音波洗浄機用振動子の開発(非線形音響,一般)
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概要
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半導体ウェーハの枚葉洗浄処理にスピン洗浄機が使用されており,1MHz程度の流水式高周波超音波振動子は微粒子除去に有効である.流水中の超音波は伝搬距離が短いが,内径4mm程度の石英ガラス製導波路管を適用することで伝搬距離が延長される.本稿ではCMP後洗浄での微粒子除去率(PRE)および導波路管内の音波伝搬について評価を行う.導波路管内の音波伝搬は壁面吸収による減衰が支配的となる.音源入力5Wでの壁面吸収係数は計算値と一致するが,30Wでは異なる.このとき音源近傍の音圧は578kPa(235.2dB)に達し,導波路管出口での受波音圧レベルは非線形吸収に伴う飽和現象を示す.高調波成分の観測や衝撃波形成距離についても検討する.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-04-17
著者
-
潘 毅
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
岡野 勝一
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
副島 潤一郎
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
小池 義和
芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部:芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
芝浦工業大学工学部
-
潘 毅
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
岡野 勝一
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
副島 潤一郎
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
小池 義和
芝浦工大
-
小池 義和
芝浦工業大学
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