振動板の傾斜制御を用いた近距離場音波浮揚利用非接触搬送法の搬送速度向上に関する検討(強力超音波)
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概要
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近距離場音波浮揚現象を用い、従来20kHzの振動子による定在波型非接触搬送方法が実現されている。これまで振動子をパルスモータステージ等で移動させる位置決めが容易な定在波型では、十分な搬送速度を実現できていない。そこで、筆者らは40kHz振動子を用いリニアステージを使用した搬送システムを試作し、従来よりも小型化、軽量化、消音化、保持力の向上を図った。また振動板の傾きを制御することによって、搬送速度の向上と位置決め精度の向上について検討を行ったので報告する。
- 2003-12-11
著者
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
小池 義和
芝浦工業大学工学部
-
上羽 貞行
東工大精研
-
諸熊 洋輔
芝浦工業大学
-
高三 正己
豊田自動織機
-
諸熊 洋輔
芝浦工大・工
-
大八木 岳人
芝浦工大・工
-
高三 正巳
豊田自動織機
-
上羽 貞行
東京工業大学
-
大八木 岳人
芝浦工業大学
-
高三 正己
豊田自動織機製作所
-
小池 義和
芝浦工業大学
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