非接触型超音波浮上式リニアガイド (特集 最近の超音波モータ・アクチュエータ)
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概要
著者
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上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
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小山 大介
東京工業大学精密工学研究所
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上羽 貞行
東工大精研
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上羽 貞行
Precision And Intelligence Laboratory Tokyo Institute Of Technology
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