粘性力発生機構を用いた位置決め精度向上 : 音波浮揚を用いた非接触搬送装置による位置決め精度向上に関する研究
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概要
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- 2004-03-17
著者
-
上羽 貞行
東京工業大学精密工学研究所
-
小池 義和
芝浦工業大学工学部
-
上羽 貞行
東工大・精研
-
上羽 貞行
東工大精研
-
諸熊 洋輔
芝浦工業大学
-
高三 正己
豊田自動織機
-
小池 義和
芝浦工大・工
-
諸熊 洋輔
芝浦工大・工
-
大八木 岳人
芝浦工大・工
-
高三 正巳
豊田自動織機
-
高三 正己
豊田自動織機製作所
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