副島 潤一郎 | (株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
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概要
関連著者
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副島 潤一郎
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
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(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
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花房 龍男
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堀 晃浩
気象環境計測
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芝浦工業大学工学部
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芝浦工業大学工学部
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潘 毅
芝浦工業大学工学部
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岡野 勝一
芝浦工業大学工学部
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副島 潤一郎
芝浦工業大学工学部
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鈴木 一成
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
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著作論文
- 導波路モードを用いた超音波洗浄機用振動子による次世代半導体ウェーハ洗浄
- 自動車排ガス流量測定のための高温用超音波流量計の開発(エンジンの新しい計測技術とモデリング(3),エンジンの新しい計測技術とモデリング)
- 導波路型超音波洗浄機の音圧分布解析
- 導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
- 導波路管型超音波洗浄機用振動子の開発(非線形音響,一般)
- 2P8-1 導波路管型超音波洗浄機用振動子の試作(ポスターセッション)
- 導波路モードを用いた超音波洗浄機用振動子による次世代半導体ウェーハ洗浄
- 自動車排出ガス流量測定のための高温用超音波流量計の開発
- P1-29 BLTトランスデューサーを用いた高温ガス測定(ポスターセッション1(概要講演))
- 解説 タングステンブロンズ型PbNb2O6セラミクス--低Qm圧電素子への応用
- F-1 PbNb_2O_6を用いた高温用超音波トランスデューサの製作
- 超音波洗浄の溶存気体制御効果
- 超音波洗浄の不均一性とダメージの要因
- 都市上空の風のスペクトル : 野外観測と風洞実験の比較
- 2Pa4-9 1MHzキャビテーション気泡形成のパルス波依存性(ポスターセッション)