岡野 勝一 | カイジョー

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概要

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関連著者

• 岡野 勝一

  カイジョー

• 小池 義和

  芝浦工業大学工学部

• 鈴木 一成

  カイジョー

• 潘 毅

  カイジョー

• 副島 潤一郎

  カイジョー

• 小池 義和

  芝浦工大工

• 小池 義和

  芝浦工大

• 潘 毅

  (株)カイジョー産業用洗浄装置事業部

• 岡野 勝一

  (株)カイジョー産業用洗浄装置事業部

• 副島 潤一郎

  (株)カイジョー産業用洗浄装置事業部

• 鈴木 一成

  (株)カイジョー産業用洗浄装置事業部:芝浦工業大学工学部

• 鈴木 一成

  カイジョー:芝浦工大工

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著作論文

• 2P8-1 導波路管型超音波洗浄機用振動子の試作(ポスターセッション)
• 3J8-2 導波路管型超音波洗浄機用振動子のCMP後洗浄への適用 : スポット型振動子の洗浄評価(強力超音波)
• CMP後洗浄技術について (特集2 精密清浄技術)
• CMP後洗浄装置と超音波液体流量計 (特集 半導体デバイス関連最新研磨技術)
• ウェット洗浄技術--メガソニックを用いた微細化対応処理装置 (特集 次世代の洗浄技術)
• 超音波洗浄技術と微細化への課題 (特集 工作機械のトライボロジー)

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