導波路管型高周波超音波洗浄機によるCMP後洗浄(半導体のプロセス・デバイス(表面,界面,信頼性),一般)
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概要
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半導体枚葉洗浄において,石英導波路管を伝搬体とした新しい超音波洗浄機用振動子を提案する.中実棒を伝搬体とした場合,超音波は縦振動で伝搬し,定在波による振動分布が生じる.一方で導波路管壁での超音波は横(屈曲)振動で伝搬し,進行波成分が増す.また,導波路管壁は伝搬液を経由した音源振動により間接的に駆動する,導波路管壁面振動には伝搬液内で生成された高調波成分が観測される.枚葉スピン洗浄機に導波路管型振動子を搭載し,CMP後洗浄での微粒子除去率(PRE:Particle removal efficiency)との関連を評価した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2009-06-04
著者
-
潘 毅
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
岡野 勝一
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
副島 潤一郎
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
小池 義和
芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
(株)カイジョー産業用洗浄装置事業部:芝浦工業大学工学部
-
鈴木 一成
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
潘 毅
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
岡野 勝一
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
副島 潤一郎
株式会社カイジョー産業用洗浄装置事業部
-
小池 義和
芝浦工大
-
小池 義和
芝浦工業大学
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