LDVを用いた高周波超音波洗浄機用音圧プローブに関する研究

概要

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1〜2MHzの高周波を用いている超音波洗浄機は,半導体プロセスに欠くことのできない処理である。超音波洗浄機の音響出力及び洗浄層内の音圧は,素子のダメージを抑え,効果的な洗浄を実現するために正確に管理する必要がある。しかし,これまでに提案されている音圧ブローブは,超純水環境には適していない。現在では,石英ロッドを用いた音圧ブローブが広く使用されているが,絶対的な音圧を測定することが困難であり,取り付け精度も1mmメートル以下と非常に高い精度が求められている。そこで,筆者らは,数mmオーダーの取り付け精度で再現性ある測定が可能な高周波超音波洗浄機用音圧ブローブの実現を目指している。これまでに,レーザドップラ振動速度計(LDV)を用いた音圧測定の方法を提案し,従来しようされている石英ロッド型と比較検討することで音圧測定可能なことを確認している。本報告では,提案したブローブにより洗浄層内の音圧分布を測定し,測定精度について検討を行っている。また,有限要素法(FEM)を用いて,ブローブ先端の構造について検討した。
社団法人電子情報通信学会の論文
2007-04-17