窒化物半導体トランジスタヘの期待と将来展望(半導体材料・デバイス)
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概要
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窒化物半導体ヘテロ接合を用いた電界効果トランジスタが,ワイヤレス通信用の送信増幅器や電力変換用スイッチング回路の次世代キーデバイスとして大きな期待を集めている.本論文では,窒化物半導体材料の特徴とそのヘテロ接合を用いたデバイスの動作原理を解説した後,これまでに達成されたトランジスタの最高性能のいくつかを紹介する.また,現在の窒化物半導体トランジスタが直面する技術課題を総括し,その対策について論じる.最後に,窒化物半導体トランジスタの新しい展開と期待について,デバイスと回路の両面から論じる.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2007-12-01
著者
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